Technologie tenkého filmu
video

Technologie tenkého filmu

Technologie obvodů tenkého filmu se týká vytváření elektronických součástek pomocí fotolitografie poté, co je substrát vakuově nanesen do tenkého filmu.
Odeslat dotaz

Popis

Technické parametry

Představení produktu

 

Technologie obvodů tenkého filmu se týká vytváření elektronických součástek pomocí fotolitografie poté, co je substrát vakuově nanesen do tenkého filmu. Tato technologie se stala preferovaným přístupem pro výrobu mikropáskových obvodů díky širokému rozsahu parametrů součástek, vysoké přesnosti, dobré konzistenci vsázky, vysoké spolehlivosti a dobrým teplotním-frekvenčním charakteristikám. Používá se hlavně v lékařské elektronice,-rychlostních počítačích, zbraních a vybavení, letectví a dalších oborech.

1
2
3

Směr výzkumu

 

Budoucnost produktů tenkovrstvých obvodů spočívá ve směru struktury menší velikosti řádků, vyšší grafické kvalitě a přesnosti, zlepšené spolehlivosti, snížení objemu a vyšších frekvenčních pásmech aplikací.

 

Technologický proces

 

Děrování → Naprašování → Ztluštění filmové vrstvy → Fotoleptání → Poškrábání → Testování

 

Test produktu

 

1, Zkušební předměty: Vzhled
Testovací nástroje: Stereomikroskop
Testovací metody: GJB548B Method 2032
Technický index: 80 % grafických částí je kompletních a v negrafických oblastech nejsou žádné viditelné zbytky kovu

 

2, Testovací položky: Celkový rozměr
Testovací nástroje: Posuvné měřítko, elektronický mikrometr, přístroj na měření obrazu
Testovací metody: GJB548B, Metoda 2016
Technický index:

 

Zpracování Normální Vysoká přesnost
Metody Chyba přesnosti Chyba
Brus Menší nebo rovno ± 50 µm Menší nebo rovno ± 25 µm
Laser Menší nebo rovno ± 100 µm Menší nebo rovno ± 50 µm

 

3, Zkušební předměty: Litografická kovová grafika
Testovací nástroje: Přístroj na měření obrazu, Metalografický mikroskop
Testovací metody: GJB548B, Metoda 2016
Technický index:

 

Položka Chyba
Přední a zadní rytí Menší nebo rovno ±25 µm
Gravírování stejné strany Menší nebo rovno ±25 µm
Velikost čáry ±5 µm


4, Testované položky: Adheze membrány
Testovací nástroje:3M610 lepicí páska
Zkušební metody: Metoda zkoušení pásky ASTM B571-97
Technický index: Pod mikroskopem 40X není na membránové vrstvě pozorován žádný jev odlupování v jakékoli formě

 

5, Testované položky: Odolnost membránové vrstvy proti vysoké teplotě
Testovací nástroje: Hot Stage
Testovací metody: Udržujte při 400 stupních po dobu 10 minut
Technický index: Pod mikroskopem 40X nedochází k žádné změně barvy, odlupování, puchýřům nebo odlupování membránové vrstvy v jakékoli formě.

 

6, Další technické indexy

 

Položka Technický index


Minimální průměr metalizovaného materiálu

Přes díru

Tloušťka podkladu×0,8

Minimální vzdálenost od

Vodicí pás na okraj keramiky

0,050 mm
Litografická minimální šířka čáry 0,015 mm
Odpor ±10%

 

Populární Tagy: technologie obvodů tenkých vrstev, Čína výrobci technologie obvodů tenkého filmu, dodavatelé, továrna

Odeslat dotaz